半導(dǎo)體行業(yè)中的濕度要求
半導(dǎo)體行業(yè)中的濕度要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下,生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響,其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)格要求,對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的配置,則要求系統(tǒng)同時(shí)具